Azotek krzemowy na wysokim poziomie

Częściowo skrystalizowane mikrostruktury mozaiki krzemowej znalezione wazotek silikonowyFilmy przygotowane przez LPCVD. W zależności od warunków uprawy i procesu skala struktury waha się od dziesiątek do setek nanometrów. W oparciu o wyniki testu prądu i transmisyjną obserwację obserwacji mikroskopii elektronowej filmów Sinx hodowanych w różnych warunkach, geneza mikrostruktury folii Sinx bogatych w krzemion i ich interakcję ze stresem w filmie zostały przeanalizowane, a proces wzrostu LPCVD mógł zasilać się w filmie Sinx bogatych w silikonowe filmy Sinx. 40 mm × 40 mm. Na podstawie wyników tego badania kontrolowany wzrost błon SINX o określonym naprężeniu rozciągającym został zrealizowany przez LPCVD.

1.Azotek silikonowyCienkie folie (sin _ x) przygotowano technologią chemicznego osadzania pary niskiego ciśnienia (LPCVD) przy użyciu odpowiednio silanu i amoniaku jako źródeł krzemowych i azotowych oraz azotu o wysokiej czystości jako gazu nośnego. Kinetyka wzrostu folii Sin _ badano za pomocą elipsometrii, właściwości sin _ x folii X (5 {5}}}} X} X} X} X} X obserwowano Mikroskopię. W tych samych warunkach innych procesów szybkość wzrostu filmu Sin _ x wzrasta monotonicznie wraz ze wzrostem ciśnienia roboczego, a stosunek (R) szybkości przepływu amoniaku do silanu w gazie paszowym ma odwrotny wpływ na szybkość wzrostu filmu. Wraz ze wzrostem temperatury reakcji szybkość osadzania wzrasta stopniowo, osiągając maksymalnie około 840 stopni, a następnie szybko maleje. Gdy używany jest R2, otrzymuje się sin _ x (x1.33). Gdy używany jest R4, uzyskuje się film sin _ x z bliskim sttoichiometrycznym (Z≈1,33).

Popularne Tagi: Produkt na wysokim poziomie azotku krzemu, chińskie produkty na wysokim poziomie producenci azotku krzemowego, dostawcy, fabryka